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气体行业动态

高纯气体管道设计要点主要包括七个方面

信息来源:www.hbzyqt.com | 发布时间:2020年05月30日

高纯气体管道设计要点主要包括七个方面:湖北高纯气体厂家中原海常年从事高纯气体批发,对此深有心得。

(1)对不同性质的天然气,要规划一个独立的供气区,一般分为三个区:腐蚀性/有毒性气体、可燃性气体、惰性气体区域,将同一天然气浓度加强管理和可燃气体区,以专门规划爆破墙和渗漏,如果空间不足,可以考虑。放置惰性气体和有毒腐蚀性气体区域。

(2)管道设计需要考虑运输距离,距离越长,成本越高,风险越大,通常设计流量越合理,20 mL/s,可燃气体小于10 mL/s,有毒/腐蚀性气体小于8 mL/s,在使用中设计该方面,需要考虑使用对等压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者管径通常指向使用的1/4“~3/8”。

(3) 根据燃气设备的分布情况,高纯燃气管网不宜过大或过长,宜采用不封闭的环状管道,在系统末端连续排放少量燃气,使管网中始终有高纯度气体循环,不会因“死区”而造成高纯度气体污染。

(4) 应减少不流动气体在管道中的“死区”,且不应是盲管,在专用储气罐和气体设备之间应设置吹扫阀控制装置和控制装置,用于控制吹扫阀的开关顺序和系统,以保证供气系统的安全,可靠运行,防止“死区”滞留污染物形成,降低气体纯度。

(5) 对于高纯气体纯度要求不同的气体设备,宜采用分级高纯气体输送系统,也可采用同一级输送系统,但在高纯气体设备附近设置终端气体净化装置。

(6) 为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除应配备必要的连续检测仪器外,如水或氧杂质含量测定仪等,还应设置定期采样的检测取样口,以便在规定的时间取样,分析高纯气体中各种杂质的含量。

(7) 在亚微米级集成电路生产中,要求提供10-9级高纯气体。为了保证末端气体处理设备的气体纯度,应提高气体中的杂质含量

(包括尘粒)控制在规定值内,通常在装置前设置终端净化装置或终端高精度气体过滤器